半導(dǎo)體制造中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,由于工藝總是在凈化室中由人的參與 進行,所以半導(dǎo)體圓片不可避免的被各種雜質(zhì)污染。根據(jù)污染物的來源、性質(zhì)等,大致可分為顆粒、有機物、金屬離子和氧化物四大類。
1.1 顆粒
顆粒主要是一些聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)等。這類污染物通常主要依靠范德瓦爾斯吸引力 吸附在圓片表面,影響器件光刻工序的幾何圖形的形成及電學(xué)參數(shù)。這類污染物的去除方法主要以物理或化學(xué)的方法對顆粒進行底切,逐漸減小其與圓片表面的接觸面積,最終將其去除。
1.2 有機物
有機物雜質(zhì)的來源比較廣泛,如人的皮膚油脂、細菌、機械油、真空脂、光刻膠、清洗溶劑等。這類污染物通常在圓片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達圓片表面,導(dǎo)致圓片表面清洗不徹底,使得金屬雜質(zhì)等污染物在清洗之后仍完整的保留在圓片表面。這類污染物的去除常常在清洗工序的第一步進行,主要使用硫酸和雙氧水等方法進行。
PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。
不溶性微粒檢查儀對大輸液的顆粒管控,遵循中國藥典2020版附錄C0903不溶性微粒檢查法的不溶性微粒檢查,同時可以進行在線過程質(zhì)量控制和產(chǎn)品評價。
?近日,英國普洛帝分析測試集團顆粒計數(shù)事業(yè)部(不溶性微粒)宣布推出其在藥品檢測方面的新型PLD-601系列不溶性微粒檢測儀及配套自動取樣系統(tǒng)(涵蓋試劑和耗材),PLD-601系列不溶性微粒檢測儀的推出是PULUODY落實其新品開發(fā)計劃的標志性里程碑,并且將公司液體顆粒檢測的應(yīng)用延伸到生命科學(xué)和醫(yī)藥檢測領(lǐng)域。
水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀
清劑產(chǎn)生液體顆粒污染主要原因及管控辦法清劑化學(xué)品雜質(zhì)來源主要由以下幾種方式引入:一是原料帶入。即需要凈化的原料本身的雜質(zhì);二是外界引入。由于高純電子級酸多具有強腐蝕性,在實驗和存貯過程中接觸的器皿如不銹鋼設(shè)備 、管道 、泵閥 、螺絲等,塑料設(shè)備和包裝存貯材料(往往含有增塑劑增強劑&
隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進步與發(fā)展,許多行業(yè)對工作 介質(zhì)(氣體和液體)以及生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度(污染度)檢 測提出了越來越高的要求。為了定量描述介質(zhì)的清潔程度, 世界上很多國家都制定了潔凈度檢測和控制標準,將介質(zhì) 中微小顆粒污染物的數(shù)量和粒徑大小作為衡量其潔凈度的 重要指標。檢測液體介質(zhì)中顆粒的方法有很多,有間接通