隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)工藝技術(shù)的要求越來(lái)越高,特別是對(duì)半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán),其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會(huì)嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率,在目前的集成電路生產(chǎn)中,由于圓片表面沾污問(wèn)題,仍有50%以上的材料被損失掉。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,幾乎每道工序中都需要進(jìn)行清洗,圓片清洗質(zhì)量的好壞對(duì)器件性能有嚴(yán)重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制造工 藝中最重要、最頻繁的工步,而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,所以國(guó)內(nèi) 外各大公司、研究機(jī)構(gòu)等對(duì)清洗工藝的研究一直 在不斷地進(jìn)行。目前已研制出的圓片清洗技術(shù)有:濕 法化學(xué)清洗、超聲清洗、兆聲清洗、鼓泡清洗、擦洗、高壓噴射法、離心噴射法、流體力學(xué)法、流體動(dòng)力學(xué)法、干法清洗、微集射束流法、激光束清洗、冷凝噴霧技術(shù)、汽相清洗、非浸潤(rùn)液體噴射法、在線真空清洗 、RCA 清洗、等離子體清洗、原位水沖洗等。這些方法和技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體圓片的清洗工藝中。
如何判斷晶圓是否達(dá)到一定的清潔度。一個(gè)重要的途徑就是判斷清洗晶圓的溶液的潔凈度。PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)儀采用英國(guó)普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對(duì)清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測(cè)和分析,目前是英國(guó)普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測(cè)領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。
不溶性微粒檢查儀對(duì)大輸液的顆粒管控,遵循中國(guó)藥典2020版附錄C0903不溶性微粒檢查法的不溶性微粒檢查,同時(shí)可以進(jìn)行在線過(guò)程質(zhì)量控制和產(chǎn)品評(píng)價(jià)。
?近日,英國(guó)普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)顆粒計(jì)數(shù)事業(yè)部(不溶性微粒)宣布推出其在藥品檢測(cè)方面的新型PLD-601系列不溶性微粒檢測(cè)儀及配套自動(dòng)取樣系統(tǒng)(涵蓋試劑和耗材),PLD-601系列不溶性微粒檢測(cè)儀的推出是PULUODY落實(shí)其新品開(kāi)發(fā)計(jì)劃的標(biāo)志性里程碑,并且將公司液體顆粒檢測(cè)的應(yīng)用延伸到生命科學(xué)和醫(yī)藥檢測(cè)領(lǐng)域。
水中顆粒計(jì)數(shù)器,水中顆粒計(jì)數(shù)儀,在線顆粒計(jì)數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測(cè)儀
清劑產(chǎn)生液體顆粒污染主要原因及管控辦法清劑化學(xué)品雜質(zhì)來(lái)源主要由以下幾種方式引入:一是原料帶入。即需要凈化的原料本身的雜質(zhì);二是外界引入。由于高純電子級(jí)酸多具有強(qiáng)腐蝕性,在實(shí)驗(yàn)和存貯過(guò)程中接觸的器皿如不銹鋼設(shè)備 、管道 、泵閥 、螺絲等,塑料設(shè)備和包裝存貯材料(往往含有增塑劑增強(qiáng)劑&
隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進(jìn)步與發(fā)展,許多行業(yè)對(duì)工作 介質(zhì)(氣體和液體)以及生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度(污染度)檢 測(cè)提出了越來(lái)越高的要求。為了定量描述介質(zhì)的清潔程度, 世界上很多國(guó)家都制定了潔凈度檢測(cè)和控制標(biāo)準(zhǔn),將介質(zhì) 中微小顆粒污染物的數(shù)量和粒徑大小作為衡量其潔凈度的 重要指標(biāo)。檢測(cè)液體介質(zhì)中顆粒的方法有很多,有間接通