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電子級硫酸顆粒管控的難點(diǎn)及解決方法

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發(fā)布時間:2023-04-27
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電子級硫酸顆粒管控的難點(diǎn)及解決方法
近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話,都是咨詢管控電子級硫酸的儀器。什么是電子級硫酸?電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。電子級硫酸有哪些應(yīng)用?電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程,主要用于硅

近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話,都是咨詢管控電
子級硫酸的儀器。
什么是電子級硫酸?
電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技
術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。
電子級硫酸有哪些應(yīng)用?
電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程,主要
用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒,無機(jī)殘留物和碳沉積
物。
為什么要對電子級硫酸進(jìn)行顆粒管控?
電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要
的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學(xué)品,主要用于去除晶
圓片上殘留的金屬和有機(jī)物雜質(zhì),質(zhì)量要求高,產(chǎn)品中金屬離子須達(dá)到 ppt
目前,我國電子級硫酸產(chǎn)品完全依賴德國 BASF 等外企進(jìn)口,嚴(yán)重制約我國
芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展,是主要卡脖子產(chǎn)品之一。
近兩年,我國電子級硫酸制備技術(shù)取得突破,產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高,電子級硫
酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于 10ppt,超越了國際 SEMI-C12(金屬離子<100ppt
級別,與國際電子化學(xué)品供應(yīng)量最大、品質(zhì)最好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一
級(金屬離子<10ppt),達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流水平。
基于上述原因,我國新的電子級硫酸標(biāo)準(zhǔn)將于 2023 5 1 日正式施行,
也將顆粒管控提到了標(biāo)準(zhǔn)管控層面。
電子級硫酸管控有哪些難點(diǎn)?
有 2 個,一個是硫酸的腐蝕性,一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸
的腐蝕性很強(qiáng),這個就要求顆粒管控的儀器的耐強(qiáng)腐蝕很強(qiáng)。高濃度的硫酸檢測,
接液材質(zhì)達(dá)不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測,稀釋又會存在手動稀釋和自
動稀釋的問題,都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。
如何解決?
針對這 2 個問題,普洛帝研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)過反復(fù)試驗(yàn),攻破了這 2 個難點(diǎn),將電
子級硫酸的檢測濃度提升到 98%。在高濃度強(qiáng)酸性的情況下,依然可以實(shí)現(xiàn)顆粒
管控的準(zhǔn)確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號 PMT-2,選用 0.1-1.0um
檢測范圍的強(qiáng)腐蝕性傳感器,實(shí)現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前,已經(jīng)在
江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用。

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